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產(chǎn)品中心

Product Center

水冷型濺射儀

產(chǎn)品簡介

水冷型濺射儀,KT-Z1650PVD,桌面式小型濺射儀,內(nèi)配自動電動擋板,可保護樣品或清洗靶材。

產(chǎn)品型號:KT-Z1650PVD
更新時間:2024-03-27
廠商性質(zhì):生產(chǎn)廠家
訪問量:1471
詳細介紹在線留言
品牌鄭科探濺射氣體根據(jù)需求通氣
樣品臺尺寸50mm控制方式觸摸屏智能控制
樣品倉尺寸φ160x160mm靶材尺寸50mm
靶材材質(zhì)金 鉑 銅 銀 等價格區(qū)間面議
產(chǎn)地類別國產(chǎn)應(yīng)用領(lǐng)域綜合

水冷型濺射儀,KT-Z1650PVD,是一種緊湊型全自動濺射鍍膜機,使用非常簡單。由于*的插件概念,該設(shè)備很容易配置濺射或蒸發(fā),只需更換工藝頭。涂層前后可進行等離子處理。模塊化設(shè)計使得避免金屬和碳沉積之間的交叉污染變得容易。

高度調(diào)節(jié)和傾斜。它可以安裝一個可選的變速旋轉(zhuǎn)階段或旋轉(zhuǎn)行星階段,每個選擇持有不同的樣本和存根類型。在所有樣品階段,膜厚監(jiān)測都作為標準。.
•高性能濺射、碳涂層和等離子處理
•獲得的碳線軸–最多50個碳涂層,無需用戶干預(yù)
•*的即插即用濺射和碳涂層模塊
•真空性能和快速泵送時間

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水冷型濺射儀技術(shù)參數(shù);

控制方式

7寸人機界面 手動 自動模式切換控制

濺射電源

直流濺射電源

鍍膜功能

0-999秒5段可變換功率及擋板位和樣品速度程序

功率

≤1000W

輸出電壓電流

電壓≤1000V  電流≤1A

真空

機械泵 ≤5Pa(5分鐘)   分子泵≤5*10^-3Pa

濺射真空

≤30Pa

擋板類型

電控

真空腔室

石英+不銹鋼腔體φ160mm x 170mm

樣品臺

可旋轉(zhuǎn)φ62  (可安裝φ50基底)

樣品臺轉(zhuǎn)速

8轉(zhuǎn)/分鐘

樣品濺射源調(diào)節(jié)距離

40-105mm

真空測量

皮拉尼真空計(已安裝 測量范圍10E5Pa  1E-1Pa)

預(yù)留真空接口

KF25抽氣口    KF16放氣口   6mm卡套進氣口



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